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32814 基于SOI硅片图书 2016硅基MEMS制造技术 MEMS工艺规范纸版

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基于SOI硅片 32814 硅基MEMS制造技术 MEMS工艺规范 2016

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中国科学技术大学校友文库：SOI——纳米技术时代社林成鲁高端硅基材料9787312022333中国科学技术大学出版

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